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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-02-18 | 公开 | 公开 |
| 2015-03-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101602307208 IPC(主分类):H01L 21/56 专利申请号:2014106410940 申请日:20141113 |
| 2017-03-15 | 授权 | 授权 |