一种沟槽IGBT器件的制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN201510228626.2
申请日
2015-05-07
公开(公告)号
CN104835735A
公开(公告)日
2015-08-12
发明(设计)人
永福 红梅 沈华
申请人
申请人地址
314006 浙江省嘉兴市中环南路斯达路18号
IPC主分类号
H01L21331
IPC分类号
H01L29739
代理机构
杭州九洲专利事务所有限公司 33101
代理人
翁霁明
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
一种沟槽IGBT器件的制造方法 [P]. 
汤艺 ;
永福 ;
王良元 ;
徐泓 .
中国专利 :CN105679668A ,2016-06-15
[2]
一种沟槽IGBT器件的制造方法 [P]. 
汤艺 ;
永福 ;
王良元 ;
徐泓 .
中国专利 :CN105280493A ,2016-01-27
[3]
一种沟槽IGBT器件的终端结构制造方法 [P]. 
汤艺 ;
永福 ;
王良元 ;
徐泓 .
中国专利 :CN105679667A ,2016-06-15
[4]
一种沟槽IGBT器件结构的制作方法 [P]. 
汤艺 ;
永福 ;
王良元 ;
徐泓 .
中国专利 :CN105938798A ,2016-09-14
[5]
IGBT器件的制造方法及IGBT器件 [P]. 
赵东艳 ;
王于波 ;
陈燕宁 ;
付振 ;
张泉 ;
尹强 ;
肖超 ;
田俊 ;
杨毓龙 .
中国专利 :CN114628247A ,2022-06-14
[6]
具有沟槽栅的IGBT器件的制造方法 [P]. 
潘嘉 ;
杨继业 ;
陈冲 .
中国专利 :CN111785627A ,2020-10-16
[7]
一种带有内置电流传感器的沟槽IGBT器件结构及制作方法 [P]. 
汤艺 ;
永福 ;
王良元 ;
徐泓 .
中国专利 :CN110875309A ,2020-03-10
[8]
IGBT器件的制造方法及IGBT器件 [P]. 
曹功勋 .
中国专利 :CN118231251A ,2024-06-21
[9]
一种沟槽型IGBT器件及其制造方法 [P]. 
许海东 .
中国专利 :CN111739940B ,2020-10-02
[10]
沟槽型IGBT器件 [P]. 
梁利晓 ;
管佳宁 ;
李迪 ;
刘嘉 ;
覃荣震 ;
肖强 .
中国专利 :CN120224769A ,2025-06-27