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探针卡保持装置以及检查装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110166385.9
申请日：
2021-02-04
公开(公告)号：
CN113341289A
公开(公告)日：
2021-09-03
发明(设计)人：
山县一美
川嶋龙雄
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
G01R3126
IPC分类号：
G01R1073
G01R104
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
吕琳;朴秀玉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-03 | 公开 | 公开 |
| 2021-09-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/26 申请日:20210204 |