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探针卡保持装置以及检查装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110166385.9
申请日：
2021-02-04
公开(公告)号：
CN113341289B
公开(公告)日：
2024-10-18
发明(设计)人：
山县一美
川嶋龙雄
申请人：
东京毅力科创株式会社
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
G01R31/26
IPC分类号：
G01R1/073
G01R1/04
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
吕琳;朴秀玉
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-10-18 | 授权 | 授权 |