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高介电常数金属栅极器件及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910777192.X
申请日：
2019-08-22
公开(公告)号：
CN110491775A
公开(公告)日：
2019-11-22
发明(设计)人：
白文琦
王世铭
黄志森
胡展源
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区良腾路6号
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
H01L29423
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
戴广志
法律状态：
发明专利申请公布后的驳回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-09 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/02 申请公布日:20191122 |
| 2019-12-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20190822 |