锍盐、抗蚀剂组合物及图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810234145.6

申请日：

2018-03-21

公开(公告)号：

CN108623506B

公开(公告)日：

2018-10-09

发明(设计)人：

藤原敬之三井亮片山和弘

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C07C38112

IPC分类号：

C07C30912 C07C30930 C07C30931 C07C30332 C07C59115 C07C5141 C07D33502 C07D33346 G03F7004

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

张晶;谢顺星

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

共 50 条

[1]

抗蚀剂组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

铃木贵大 ;

土门大将 ;

小竹正晃 ;

增永惠一 ;

渡边聪 .

中国专利 :CN109212903A ,2019-01-15

[2]

抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

李兆明 ;

王先进 ;

解德升 ;

余齐顺 ;

万海星 ;

高越 .

中国专利 :CN119335811A ,2025-01-21

[3]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

高木大地 ;

中村刚 ;

板垣友祐 .

日本专利 :CN116745699B ,2024-03-22

[4]

锍盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

福岛将大 .

日本专利 :CN121226211A ,2025-12-30

[5]

锍盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

福岛将大 .

日本专利 :CN121226209A ,2025-12-30

[6]

锍盐、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法 [P].

福岛将大 .

日本专利 :CN121226212A ,2025-12-30

[7]

抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

张斌 ;

栾力冰 ;

关琬婷 .

中国专利 :CN117631445B ,2024-07-26

[8]

抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

张斌 ;

栾力冰 ;

关琬婷 .

中国专利 :CN117631445A ,2024-03-01

[9]

抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

苏敏光 ;

张季平 ;

高越 ;

康靖 ;

陈涛 .

中国专利 :CN120669474A ,2025-09-19

[10]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

染谷康夫 ;

海保贵昭 ;

阿出川穂 .

中国专利 :CN114746807A ,2022-07-12

← 1 2 3 4 5 →

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-05	授权	授权
2018-10-09	公开	公开
2018-11-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C07C 381/12 申请日:20180321