浅沟槽隔离结构的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610307225.0

申请日：

2016-05-11

公开(公告)号：

CN105914178A

公开(公告)日：

2016-08-31

发明(设计)人：

徐涛陈宏王卉曹子贵

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-26	授权	授权
2016-08-31	公开	公开
2016-09-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101680681513 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2016103072250 申请日:20160511

共 50 条

[1]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

蒋阳波 ;

陈正敏 ;

聂广宇 .

中国专利 :CN102403258A ,2012-04-04

[2]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

宋振伟 ;

徐友峰 ;

陈晋 .

中国专利 :CN103839868A ,2014-06-04

[3]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

张明华 ;

严钧华 ;

黄耀东 ;

方精训 ;

彭树根 .

中国专利 :CN103199052A ,2013-07-10

[4]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

张明华 ;

严钧华 ;

黄耀东 ;

方精训 ;

彭树根 .

中国专利 :CN103236416A ,2013-08-07

[5]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

孙士祯 ;

顾勇 ;

方浩 ;

姚长达 .

中国专利 :CN102543822A ,2012-07-04

[6]

浅沟槽隔离结构制作方法 [P].

胡亚兰 ;

刘佳磊 .

中国专利 :CN102130036A ,2011-07-20

[7]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

李敏 .

中国专利 :CN102097356B ,2011-06-15

[8]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

孙昌 ;

王艳生 ;

廖奇泊 ;

钱俊 ;

朱赛亚 .

中国专利 :CN101866872A ,2010-10-20

[9]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

何永根 ;

陈勇 .

中国专利 :CN102122630A ,2011-07-13

[10]

浅沟槽隔离结构的制作方法 [P].

倪百兵 ;

刘焕新 .

中国专利 :CN101728307A ,2010-06-09

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