基板镀膜载具及基板镀膜方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201611007879.8
申请日
2016-11-16
公开(公告)号
CN106567051A
公开(公告)日
2017-04-19
发明(设计)人
董洪超 刘亮
申请人
申请人地址
430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
IPC主分类号
C23C1450
IPC分类号
C23C1454
代理机构
深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304
代理人
孙伟峰
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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