一种曝光方法及其曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310351942.X

申请日：

2013-08-14

公开(公告)号：

CN104375384A

公开(公告)日：

2015-02-25

发明(设计)人：

许琦欣王帆

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

王光辉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-03-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101602519641 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:201310351942X 申请日:20130814
2015-02-25	公开	公开
2017-03-29	授权	授权
2017-09-12	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758997763 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL201310351942X 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

共 50 条

[1]

曝光装置及曝光方法 [P].

许琦欣 ;

郑乐平 .

中国专利 :CN103901730B ,2014-07-02

[2]

曝光装置以及曝光方法 [P].

今井洋之 .

中国专利 :CN109557768A ,2019-04-02

[3]

曝光方法、器件制造方法、曝光装置、以及曝光系统 [P].

渡边阳司 .

日本专利 :CN118871862A ,2024-10-29

[4]

曝光方法、曝光装置和器件制造方法 [P].

大和壮一 ;

渡边阳司 .

中国专利 :CN109164682B ,2019-01-08

[5]

一种曝光装置及其曝光方法 [P].

马海涛 ;

赵海生 .

中国专利 :CN103324037A ,2013-09-25

[6]

一种曝光方法及其曝光装置 [P].

倪伟 .

中国专利 :CN109116685A ,2019-01-01

[7]

曝光装置 [P].

加藤正纪 ;

水野恭志 ;

中岛利治 ;

藤村嘉彦 .

日本专利 :CN117616341A ,2024-02-27

[8]

曝光装置 [P].

加藤正纪 ;

水野恭志 ;

川户聪 .

日本专利 :CN118475881A ,2024-08-09

[9]

曝光装置 [P].

加藤正纪 ;

水野恭志 .

日本专利 :CN117616344A ,2024-02-27

[10]

曝光装置及其曝光方法 [P].

伍强 ;

祖延雷 ;

胡华勇 ;

顾一鸣 .

中国专利 :CN104035285B ,2014-09-10

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