一种改性纳米二氧化硅复合抛光液及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810711364.9

申请日：

2018-07-03

公开(公告)号：

CN108587478A

公开(公告)日：

2018-09-28

发明(设计)人：

石峰张万里戴一帆彭小强宋辞宋家亮

申请人：

申请人地址：

410073 湖南省长沙市开福区德雅路109号

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

B24B100 B24B5702

代理机构：

长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225

代理人：

董惠文

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-28	公开	公开
2018-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20180703
2020-09-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种高抛光效率的二氧化硅抛光液及其制备方法 [P].

李春生 ;

李明月 ;

高礼明 .

中国专利 :CN118222190A ,2024-06-21

[2]

铜抛光中用的纳米二氧化硅磨料抛光液 [P].

仲跻和 .

中国专利 :CN101368068A ,2009-02-18

[3]

锌和铬加工用的纳米二氧化硅磨料抛光液 [P].

仲跻和 .

中国专利 :CN101368069A ,2009-02-18

[4]

微晶玻璃加工用的纳米二氧化硅磨料抛光液 [P].

仲跻和 .

中国专利 :CN101368070A ,2009-02-18

[5]

微晶玻璃加工用纳米二氧化硅磨料抛光液及其制备方法 [P].

仲路和 .

中国专利 :CN101050338A ,2007-10-10

[6]

一种二氧化铈-二氧化硅复合磨料的化学机械抛光液 [P].

张保国 ;

陈康 ;

王月鹏 ;

宋家坤 ;

刘世桐 ;

吴佳伟 ;

咸文豪 ;

秦思慧 .

中国专利 :CN120904795A ,2025-11-07

[7]

改性纳米二氧化硅防水液 [P].

刘忠伟 .

中国专利 :CN106893374A ,2017-06-27

[8]

一种SIC晶圆CMP抛光用二氧化硅抛光液及其制备方法 [P].

向定艾 .

中国专利 :CN115418169A ,2022-12-02

[9]

一种纳米二氧化硅磨料抛光液的制备方法 [P].

仲跻和 .

中国专利 :CN101307211A ,2008-11-19

[10]

一种用于二氧化硅介质的抛光液及其制备方法 [P].

仲跻和 ;

李家荣 ;

周云昌 ;

高如山 .

中国专利 :CN101096573A ,2008-01-02

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