多晶硅薄膜检查方法及其装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210156664.8

申请日：

2012-05-18

公开(公告)号：

CN102788805A

公开(公告)日：

2012-11-21

发明(设计)人：

吉武康裕山口清美岩井进

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01N21896

IPC分类号：

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;郭凤麟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101378920852 IPC(主分类):G01N 21/896 专利申请号:2012101566648 申请日:20120518
2015-01-21	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101710184832 IPC(主分类):G01N 21/896 专利申请号:2012101566648 申请公布日:20121121
2012-11-21	公开	公开

共 50 条

[1]

多晶硅薄膜检查方法及其装置 [P].

岩井进 ;

村松刚 ;

荒木正树 ;

山口清美 .

中国专利 :CN102446784A ,2012-05-09

[2]

多晶硅薄膜检查方法及其装置 [P].

岩井进 ;

吉武康裕 ;

村松刚 .

中国专利 :CN102192908A ,2011-09-21

[3]

多晶硅薄膜 [P].

李媛 ;

吴兴坤 ;

郝芳 ;

杨晗琼 .

中国专利 :CN202058744U ,2011-11-30

[4]

多晶硅薄膜 [P].

赵淑云 ;

郭海成 ;

王文 .

中国专利 :CN102956678A ,2013-03-06

[5]

多晶硅薄膜成膜方法 [P].

袁宿陵 .

中国专利 :CN111653474A ,2020-09-11

[6]

多晶硅薄膜及其形成方法 [P].

谢博文 ;

施剑华 .

中国专利 :CN115012032A ,2022-09-06

[7]

低温多晶硅薄膜及其制备方法、低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

葛泳 ;

刘玉成 ;

朱涛 ;

顾维杰 .

中国专利 :CN104362084A ,2015-02-18

[8]

低温多晶硅薄膜的制作方法、低温多晶硅薄膜及低温多晶硅TFT基板 [P].

张瑞军 ;

卢马才 ;

王松 .

中国专利 :CN108831894A ,2018-11-16

[9]

一种多晶硅薄膜制作方法及多晶硅薄膜 [P].

任庆荣 ;

李良坚 ;

刘政 .

中国专利 :CN107017153A ,2017-08-04

[10]

一种多晶硅薄膜的制备方法及多晶硅薄膜 [P].

高超飞 ;

葛晶涛 ;

刘旭亮 ;

沈文涛 ;

张明照 .

中国专利 :CN108878272A ,2018-11-23

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