一种半导体器件的制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN201210202204.4
申请日
2012-06-18
公开(公告)号
CN103515228A
公开(公告)日
2014-01-15
发明(设计)人
洪中山
申请人
申请人地址
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号
H01L21336
IPC分类号
H01L21768
代理机构
北京市磐华律师事务所 11336
代理人
董巍;高伟
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半导体器件的制造方法 [P]. 
赵简 ;
曹轶宾 .
中国专利 :CN104183539A ,2014-12-03
[2]
一种半导体器件的制造方法 [P]. 
曹轶宾 ;
赵简 .
中国专利 :CN104183540A ,2014-12-03
[3]
一种半导体器件的制造方法 [P]. 
张文文 ;
黄仁瑞 .
中国专利 :CN114582797B ,2025-08-15
[4]
一种半导体器件的制造方法 [P]. 
张文文 ;
黄仁瑞 .
中国专利 :CN114582797A ,2022-06-03
[5]
一种半导体器件的制造方法和半导体器件 [P]. 
张海洋 ;
刘少雄 .
中国专利 :CN109698119B ,2019-04-30
[6]
一种制造半导体器件的方法和半导体器件 [P]. 
闫一方 .
中国专利 :CN110752206A ,2020-02-04
[7]
一种半导体器件的制造方法和半导体器件 [P]. 
袁可方 ;
罗杰 .
中国专利 :CN110896051B ,2020-03-20
[8]
一种半导体器件的制造方法及半导体器件 [P]. 
曹开玮 .
中国专利 :CN120527294A ,2025-08-22
[9]
半导体器件的制造方法和半导体器件 [P]. 
夏军 ;
白世杰 .
中国专利 :CN116096224B ,2025-08-29
[10]
半导体器件和制造半导体器件的方法 [P]. 
陈永凯 .
美国专利 :CN117410829A ,2024-01-16