一种高效单晶硅片切割工艺

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910724588.8
申请日
2019-08-07
公开(公告)号
CN110394912A
公开(公告)日
2019-11-01
发明(设计)人
姚星全 周炎
申请人
申请人地址
212215 江苏省镇江市扬中经济开发区港隆路968号
IPC主分类号
B28D504
IPC分类号
B28D704 B28D700
代理机构
南京经纬专利商标代理有限公司 32200
代理人
楼高潮
法律状态
著录事项变更
国省代码
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共 50 条
[1]
一种单晶硅片的切割方法 [P]. 
张昌银 .
中国专利 :CN109732796A ,2019-05-10
[2]
一种单晶硅片切割方法 [P]. 
王冰 ;
潘连胜 ;
商剑 ;
何翠翠 ;
秦朗 ;
齐锦刚 ;
赵作福 ;
刘亮 .
中国专利 :CN114347281A ,2022-04-15
[3]
一种单晶硅片切割制备方法 [P]. 
徐礼健 ;
蒋军 .
中国专利 :CN115503129A ,2022-12-23
[4]
单晶硅片切割设备 [P]. 
司云峰 ;
严霁云 ;
李杰 ;
成路 .
中国专利 :CN205112119U ,2016-03-30
[5]
一种单晶硅片切割装置 [P]. 
严才根 ;
廖加彬 ;
李忠泽 ;
程水宫 ;
丁双富 .
中国专利 :CN221985472U ,2024-11-12
[6]
一种单晶硅片切割装置 [P]. 
严循成 .
中国专利 :CN218488797U ,2023-02-17
[7]
一种单晶硅片切割装置 [P]. 
陈峰 .
中国专利 :CN209616060U ,2019-11-12
[8]
一种高效吸光单晶硅片 [P]. 
陈春成 ;
戚建静 .
中国专利 :CN112186053B ,2021-01-05
[9]
一种单晶硅片切割除屑设备 [P]. 
徐礼健 ;
蒋军 .
中国专利 :CN222406575U ,2025-01-28
[10]
一种单晶硅片切割的紧固装置 [P]. 
蔡焱锋 ;
王营涛 ;
贺斌华 ;
李伟 ;
吴国辉 .
中国专利 :CN213321034U ,2021-06-01