一种超高真空半导体芯片封装设备

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专利类型
实用新型
申请号
CN202023107674.1
申请日
2020-12-21
公开(公告)号
CN214325446U
公开(公告)日
2021-10-01
发明(设计)人
李东晓
申请人
申请人地址
214000 江苏省无锡市新吴区长江南路35-322号
IPC主分类号
B65B1150
IPC分类号
B65B5114 H01L21677 H01L21687 H01L2167
代理机构
无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228
代理人
聂启新
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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邵季铭 .
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半导体芯片封装设备和抛光处理半导体芯片封装的方法 [P]. 
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朴泰成 ;
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