化学机械研磨垫

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN98123446.1

申请日：

1998-10-23

公开(公告)号：

CN1252336A

公开(公告)日：

2000-05-10

发明(设计)人：

陈学忠

申请人：

申请人地址：

台湾省新竹科学工业园区

IPC主分类号：

B24D300

IPC分类号：

代理机构：

柳沈知识产权律师事务所

代理人：

李晓舒

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2000-05-10	公开	公开
2003-12-17	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止
2001-12-19	授权	授权
2000-11-22	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效

共 50 条

[1]

化学机械研磨垫 [P].

陈国庆 ;

宁先捷 ;

黄河 .

中国专利 :CN1521813A ,2004-08-18

[2]

化学机械研磨垫 [P].

王盼 ;

蔡长益 .

中国专利 :CN209110816U ,2019-07-16

[3]

打印化学机械研磨垫 [P].

M·C·奥里拉尔 ;

T·麦克尔森 ;

K·克里希南 ;

R·巴贾杰 ;

N·B·帕迪班德拉 ;

D·莱德菲尔德 ;

F·C·雷德克 ;

G·E·孟克 .

中国专利 :CN107073677A ,2017-08-18

[4]

用于化学机械研磨的研磨垫以及化学机械研磨设备 [P].

胡海天 ;

李志国 ;

程君 ;

陶仁峰 .

中国专利 :CN102744676A ,2012-10-24

[5]

研磨垫与化学机械研磨装置 [P].

林明勋 ;

朱彦瑞 ;

林宥任 .

中国专利 :CN120170634A ,2025-06-20

[6]

研磨垫及化学机械研磨装置 [P].

谭玉荣 .

中国专利 :CN206567983U ,2017-10-20

[7]

化学机械研磨垫 [P].

朱晓飞 ;

宋东虹 .

中国专利 :CN204295485U ,2015-04-29

[8]

化学机械研磨垫 [P].

冈本隆浩 ;

桑原力丸 ;

栗山敬祐 ;

辻昭卫 .

中国专利 :CN101379598B ,2009-03-04

[9]

用于化学机械研磨装置的研磨垫和化学机械研磨装置 [P].

刘慧超 ;

高林 .

中国专利 :CN215470444U ,2022-01-11

[10]

化学机械研磨用垫 [P].

河原弘二 ;

长谷川亨 ;

樱井富士夫 .

中国专利 :CN1701919A ,2005-11-30

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