化学机械研磨垫

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821519455.4

申请日：

2018-09-18

公开(公告)号：

CN209110816U

公开(公告)日：

2019-07-16

发明(设计)人：

王盼蔡长益

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

IPC主分类号：

B24B3726

IPC分类号：

代理机构：

北京律智知识产权代理有限公司 11438

代理人：

董天宝;于宝庆

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-16	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨垫及化学机械研磨装置 [P].

谭玉荣 .

中国专利 :CN206567983U ,2017-10-20

[2]

化学机械研磨垫 [P].

陈国庆 ;

宁先捷 ;

黄河 .

中国专利 :CN1521813A ,2004-08-18

[3]

化学机械研磨垫 [P].

朱晓飞 ;

宋东虹 .

中国专利 :CN204295485U ,2015-04-29

[4]

化学机械研磨垫 [P].

陈学忠 .

中国专利 :CN1252336A ,2000-05-10

[5]

用于化学机械研磨装置的研磨垫和化学机械研磨装置 [P].

刘慧超 ;

高林 .

中国专利 :CN215470444U ,2022-01-11

[6]

研磨垫及化学机械研磨机台 [P].

田国军 ;

赵雪峰 .

中国专利 :CN202825512U ,2013-03-27

[7]

打印化学机械研磨垫 [P].

M·C·奥里拉尔 ;

T·麦克尔森 ;

K·克里希南 ;

R·巴贾杰 ;

N·B·帕迪班德拉 ;

D·莱德菲尔德 ;

F·C·雷德克 ;

G·E·孟克 .

中国专利 :CN107073677A ,2017-08-18

[8]

用于化学机械研磨的研磨垫以及化学机械研磨设备 [P].

胡海天 ;

李志国 ;

程君 ;

陶仁峰 .

中国专利 :CN102744676A ,2012-10-24

[9]

研磨垫修整器及化学机械研磨设备 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222114716U ,2024-12-06

[10]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

王海宽 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

郭松辉 ;

吕新强 .

中国专利 :CN207273005U ,2018-04-27

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