混合碳－金属互连结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410127366.5

申请日：

2014-03-31

公开(公告)号：

CN104103626A

公开(公告)日：

2014-10-15

发明(设计)人：

H-J·巴斯

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L23532

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

何焜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101588365945 IPC(主分类):H01L 23/532 专利申请号:2014101273665 申请日:20140331
2018-03-20	授权	授权
2014-10-15	公开	公开

共 50 条

[1]

互连结构 [P].

李书玮 ;

詹佑晨 ;

杨士亿 ;

李明翰 ;

眭晓林 .

中国专利 :CN115566000A ,2023-01-03

[2]

互连结构 [P].

李劭宽 ;

李承晋 ;

蔡承孝 ;

杨光玮 ;

黄心岩 ;

张孝慷 ;

眭晓林 .

中国专利 :CN115566001A ,2023-01-03

[3]

互连结构 [P].

杨士亿 ;

骆冠宇 ;

锺进龙 ;

李明翰 ;

眭晓林 .

中国专利 :CN112420664A ,2021-02-26

[4]

形成互连结构的方法及互连结构 [P].

J·A·奥特 ;

A·A·伯尔 .

中国专利 :CN103579097A ,2014-02-12

[5]

金属互连结构及其制作方法 [P].

张海洋 ;

符雅丽 .

中国专利 :CN103378064B ,2013-10-30

[6]

金属互连结构的制造方法 [P].

康乐乐 ;

张驰 .

中国专利 :CN113013091A ,2021-06-22

[7]

互连结构及互连结构的制造方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN108933100A ,2018-12-04

[8]

具有分层互连结构的桥互连 [P].

Y·刘 ;

Q·张 ;

A·E·舒克曼 ;

R·张 .

中国专利 :CN108364926A ,2018-08-03

[9]

具有分层互连结构的桥互连 [P].

Y·刘 ;

Q·张 ;

A·E·舒克曼 ;

R·张 .

中国专利 :CN104218024A ,2014-12-17

[10]

互连结构以及用于构建互连结构的方法 [P].

迈克尔·G·李 ;

内堀千寻 .

中国专利 :CN103548028B ,2014-01-29

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