半导体器件以及制造所述半导体器件的方法

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专利类型
发明
申请号
CN201010196500.9
申请日
2010-06-03
公开(公告)号
CN101908525A
公开(公告)日
2010-12-08
发明(设计)人
青木武志
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
H01L23528
IPC分类号
H01L27146 H01L21768
代理机构
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038
代理人
杨国权
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
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[2]
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[3]
半导体器件制造方法以及半导体器件制造设备 [P]. 
畠中正信 ;
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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