从具有流量控制装置的气体供给设备向容器分流地供给气体的气体分流供给装置及气体分流供给方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480017296.2

申请日：

2004-06-10

公开(公告)号：

CN100538573C

公开(公告)日：

2006-07-26

发明(设计)人：

杉山一彦池田信一西野功二土肥亮介上野山丰己

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

G05D706

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

温大鹏;杨松龄

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G05D 7/06 申请日:20040610 授权公告日:20090909 终止日期:20190610
2006-07-26	公开	公开
2009-09-09	授权	授权
2006-09-20	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

从备有流量控制装置的气体供给设备向腔室的气体分流供给方法 [P].

杉山一彦 ;

池田信一 ;

西野功二 ;

土肥亮介 ;

上野山丰己 .

中国专利 :CN1543596A ,2004-11-03

[2]

气体供给装置、气体供给方法 [P].

高梨启一 ;

石桥昌幸 .

中国专利 :CN109423622A ,2019-03-05

[3]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

林裕之 ;

太田龙作 .

中国专利 :CN113056962A ,2021-06-29

[4]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

林裕之 ;

太田龙作 .

日本专利 :CN113056962B ,2024-03-08

[5]

半导体制造装置的气体分流供给装置 [P].

西野功二 ;

土肥亮介 ;

平田薰 ;

杉田胜幸 ;

池田信一 .

中国专利 :CN108445922A ,2018-08-24

[6]

半导体制造装置的气体分流供给装置 [P].

西野功二 ;

土肥亮介 ;

平田薰 ;

杉田胜幸 ;

池田信一 .

中国专利 :CN104246642A ,2014-12-24

[7]

气体供给方法及气体供给装置 [P].

名仓见治 ;

高木一 .

中国专利 :CN103998851A ,2014-08-20

[8]

气体供给方法和气体供给装置 [P].

原正道 ;

五味淳 ;

横山敦 ;

田中利昌 ;

前川伸次 ;

多贺敏 .

中国专利 :CN101646803B ,2010-02-10

[9]

气体供给装置和气体供给方法 [P].

大仓成幸 ;

布重裕 .

中国专利 :CN107686985B ,2018-02-13

[10]

气体供给系统、气体供给系统的控制方法 [P].

小宫健嗣 .

中国专利 :CN112563540A ,2021-03-26

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