沟槽的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710046305.6

申请日：

2007-09-20

公开(公告)号：

CN101393842B

公开(公告)日：

2009-03-25

发明(设计)人：

周鸣沈满华

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L2102 H01L21308 H01L2176 H01L21768

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

逯长明

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-17	授权	授权
2009-03-25	公开	公开
2020-09-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20070920 授权公告日:20110817 终止日期:20190920
2009-05-20	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

沟槽的形成方法 [P].

王新鹏 .

中国专利 :CN104124194B ,2014-10-29

[2]

沟槽形成方法 [P].

张海洋 ;

孙武 ;

尹晓明 .

中国专利 :CN102087993A ,2011-06-08

[3]

沟槽的形成方法 [P].

毛宇浩 ;

廖军 .

中国专利 :CN115602538A ,2023-01-13

[4]

沟槽的形成方法 [P].

周鸣 ;

尹晓明 .

中国专利 :CN101587837A ,2009-11-25

[5]

沟槽的形成方法 [P].

杨芸 ;

洪中山 .

中国专利 :CN101599419B ,2009-12-09

[6]

沟槽的形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN101937865A ,2011-01-05

[7]

沟槽形成方法 [P].

王琪 ;

周鸣 .

中国专利 :CN102044483B ,2011-05-04

[8]

沟槽电容的形成方法 [P].

王函 ;

王晓日 ;

张磊 ;

杨留鹏 .

中国专利 :CN120302649A ,2025-07-11

[9]

深沟槽的形成方法 [P].

肖培 .

中国专利 :CN102324387A ,2012-01-18

[10]

浅沟槽隔离结构的形成方法 [P].

熊磊 ;

奚裴 .

中国专利 :CN103021924A ,2013-04-03

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