用于深紫外光源的光学元件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080016486.1

申请日：

2020-02-05

公开(公告)号：

CN113474951A

公开(公告)日：

2021-10-01

发明(设计)人：

S·达斯 E·A·梅森 J·T·梅尔基奥尔

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01S3034

IPC分类号：

H01S308 H01S3083 H01S3225 C30B2912 C30B3300 G02B1118 H01S3081 H01S30971 H01S323

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

赵林琳;郑振

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 3/034 申请日:20200205
2021-10-01	公开	公开

共 50 条

[1]

用于深紫外光源的光学元件 [P].

S·达斯 ;

E·A·梅森 ;

J·T·梅尔基奥尔 .

美国专利 :CN113474951B ,2024-12-13

[2]

用于极紫外光刻的反射光学元件 [P].

J.韦伯 .

中国专利 :CN102782531B ,2012-11-14

[3]

一种紫外光源封装元件 [P].

时军朋 ;

林秋霞 ;

黄永特 ;

余长治 .

中国专利 :CN110915006A ,2020-03-24

[4]

用于紫外波长范围的光学元件 [P].

A·帕齐迪斯 .

德国专利 :CN121175599A ,2025-12-19

[5]

利用外部光学元件的差别紫外光固化 [P].

T·莫拉菲 .

中国专利 :CN203792904U ,2014-08-27

[6]

反射光学元件和用于极紫外光刻的光学系统 [P].

D.H.埃姆 ;

P.休伯 ;

S.米兰德 ;

G.冯布兰肯哈根 .

中国专利 :CN103547945B ,2014-01-29

[7]

极紫外光学元件的微环境控制系统 [P].

王魁波 ;

吴晓斌 ;

罗艳 ;

谢婉露 ;

韩晓泉 ;

沙鹏飞 .

中国专利 :CN112255886A ,2021-01-22

[8]

针对极紫外光源的光脉冲生成 [P].

R·W·帕里 ;

C·J·莱本伯格 .

:CN110476110B ,2024-05-14

[9]

针对极紫外光源的光脉冲生成 [P].

R·W·帕里 ;

C·J·莱本伯格 .

中国专利 :CN110476110A ,2019-11-19

[10]

极紫外光刻的光学元件和光学系统及处理这种光学元件的方法 [P].

H.H.P.T.贝克曼 ;

D.H.埃姆 ;

J.休布雷格特斯 ;

A.J.斯托姆 ;

T.格雷伯 ;

I.阿门特 ;

D.斯米茨 ;

E.特斯莱特 ;

A.库兹尼特索夫 .

中国专利 :CN105074576A ,2015-11-18

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