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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 1999-12-15 | 公开 | 公开 |
| 2014-11-05 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101706919195 IPC(主分类):H01L 21/76 专利号:ZL991040155 变更事项:专利权人 变更前权利人:瑞萨电子株式会社 变更后权利人:德塞拉先进技术公司 变更事项:地址 变更前权利人:日本神奈川 变更后权利人:美国加利福尼亚 登记生效日:20141015 |
| 2001-06-06 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |
| 2004-03-17 | 授权 | 授权 |
| 2012-11-28 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101474744300 IPC(主分类):H01L 21/76 专利号:ZL991040155 变更事项:专利权人 变更前权利人:株式会社日立制作所 变更后权利人:瑞萨电子株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本东京都 变更后权利人:日本神奈川 登记生效日:20121030 |
| 2019-04-09 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/76 申请日:19990316 授权公告日:20040317 |