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半导体基板加工设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201010005335.4
申请日：
2010-01-15
公开(公告)号：
CN101764050B
公开(公告)日：
2010-06-30
发明(设计)人：
刘忆军
王祥慧
申请人：
申请人地址：
200135 上海市浦东新区锦绣路666弄25号2003室
IPC主分类号：
H01L2100
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229
代理人：
甄玉荃
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-26 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/00 变更事项:专利权人 变更前:沈阳拓荆科技有限公司 变更后:拓荆科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:110179 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号3楼 变更后:110179 辽宁省沈阳市浑南区水家900号 |
| 2010-08-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005085666 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2010100053354 申请日:20100115 |
| 2012-05-02 | 授权 | 授权 |
| 2013-04-03 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101560794784 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2010100053354 变更事项:专利权人 变更前权利人:孙丽杰 变更后权利人:沈阳拓荆科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:110179 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号3楼 变更后权利人:110179 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号3楼 登记生效日:20130313 |
| 2010-06-30 | 公开 | 公开 |
| 2013-03-06 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101527994137 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2010100053354 变更事项:专利权人 变更前权利人:刘忆军 变更后权利人:孙丽杰 变更事项:地址 变更前权利人:200135 上海市浦东新区锦绣路666弄25号2003室 变更后权利人:110179 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号3楼 变更事项:专利权人 变更前权利人:王祥慧 变更后权利人:无 登记生效日:20130131 |