半导体设备、半导体系统及其控制方法

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专利类型
发明
申请号
CN201510531063.4
申请日
2015-08-26
公开(公告)号
CN105388785B
公开(公告)日
2016-03-09
发明(设计)人
朴镇杓
申请人
申请人地址
韩国京畿道
IPC主分类号
G05B1904
IPC分类号
代理机构
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人
邵亚丽;曹瑜
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
半导体设备、控制半导体设备的方法和半导体系统 [P]. 
富永正志 .
中国专利 :CN107943260A ,2018-04-20
[2]
半导体器件、半导体系统及其控制方法 [P]. 
五味贤彦 ;
长泽龙 .
中国专利 :CN109960396A ,2019-07-02
[3]
半导体设备、半导体系统和半导体系统的操作方法 [P]. 
李宰荣 ;
朴元善 .
韩国专利 :CN118779263A ,2024-10-15
[4]
半导体设备和包括半导体设备的半导体系统 [P]. 
金度亨 ;
姜敏莹 .
中国专利 :CN111309091B ,2020-06-19
[5]
半导体装置、半导体系统以及控制半导体装置的方法 [P]. 
和气刚 .
中国专利 :CN109768793A ,2019-05-17
[6]
半导体装置、半导体系统以及控制半导体装置的方法 [P]. 
和气刚 .
日本专利 :CN109768793B ,2025-03-14
[7]
半导体设备和半导体系统以及半导体系统的操作方法 [P]. 
李宰荣 ;
朴元善 .
韩国专利 :CN118689381A ,2024-09-24
[8]
半导体器件、半导体系统及其方法 [P]. 
金载镒 .
中国专利 :CN107767899A ,2018-03-06
[9]
半导体芯片及其半导体系统 [P]. 
A·艾尔斯 ;
B·博罗特 .
中国专利 :CN207624691U ,2018-07-17
[10]
半导体系统及其控制方法 [P]. 
李东郁 .
中国专利 :CN106484636A ,2017-03-08