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集成电路元件测试装置及测试方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910357528.7
申请日：
2019-04-29
公开(公告)号：
CN110031748A
公开(公告)日：
2019-07-19
发明(设计)人：
罗鹏飞
刘兴
王晨
申请人：
申请人地址：
710100 陕西省西安市航天基地飞天路588号北航科技园2号楼4-501
IPC主分类号：
G01R3128
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-07-19 | 公开 | 公开 |
| 2019-08-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/28 申请日:20190429 |
| 2021-10-29 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01R 31/28 申请公布日:20190719 |