一种接触孔形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510271722.5

申请日：

2015-05-25

公开(公告)号：

CN104979281A

公开(公告)日：

2015-10-14

发明(设计)人：

罗永坚任昱吕煜坤朱骏张旭升

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L21311

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

智云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-10-14	公开	公开
2015-11-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101633322114 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2015102717225 申请日:20150525
2019-01-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/768 申请公布日:20151014

共 50 条

[1]

接触孔形成方法 [P].

杨昌辉 ;

奚裴 ;

肖海波 .

中国专利 :CN102148191B ,2011-08-10

[2]

接触孔形成方法 [P].

董献国 .

中国专利 :CN110767602B ,2020-02-07

[3]

接触孔形成方法 [P].

宋伟基 ;

朱旋 ;

陈昱升 ;

毛刚 .

中国专利 :CN101123212A ,2008-02-13

[4]

接触孔形成方法 [P].

宋伟基 ;

朱旋 ;

陈昱升 ;

何德飚 .

中国专利 :CN100483673C ,2008-02-13

[5]

接触孔及其形成方法 [P].

韩秋华 .

中国专利 :CN104681538B ,2015-06-03

[6]

接触孔的形成方法 [P].

施江 ;

李刚 ;

张亮 .

中国专利 :CN115036269A ,2022-09-09

[7]

接触孔的形成方法 [P].

张海洋 ;

王新鹏 ;

符雅丽 .

中国专利 :CN101894791B ,2010-11-24

[8]

接触孔的形成方法 [P].

杨渝书 ;

李程 ;

陈玉文 .

中国专利 :CN102683273A ,2012-09-19

[9]

接触孔形成方法 [P].

J·K·朴 ;

P·D·胡斯泰特 .

中国专利 :CN106486348A ,2017-03-08

[10]

一种通孔或接触孔的形成方法 [P].

王兆祥 ;

杜若昕 ;

刘志强 ;

倪图强 .

中国专利 :CN103021934A ,2013-04-03

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