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一种能够容纳多种尺寸的晶圆载具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201922106915.1
申请日：
2019-11-29
公开(公告)号：
CN210607219U
公开(公告)日：
2020-05-22
发明(设计)人：
罗涛
申请人：
申请人地址：
610029 四川省成都市双流区中国（四川）自由贸易试验区成都市双流区西南航空港经济开发区物联大道88号
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
代理机构：
成都华风专利事务所(普通合伙) 51223
代理人：
张川;张巨箭
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-05-22 | 授权 | 授权 |