多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构

被引：0

申请号：

CN202122059153.1

申请日：

2021-08-30

公开(公告)号：

CN217292350U

公开(公告)日：

2022-08-26

发明(设计)人：

冯琳胡启凡

申请人：

申请人地址：

200444 上海市宝山区山连路799号1幢1层-3层

IPC主分类号：

B25J1500

IPC分类号：

B25J1508

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

马盼;吴世华

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-26	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体机器人上多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构 [P].

冯琳 ;

胡启凡 .

中国专利 :CN113752284A ,2021-12-07

[2]

利用带传动结构实现多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构 [P].

胡启凡 ;

古市昌稔 ;

武一鸣 .

中国专利 :CN113977613A ,2022-01-28

[3]

具有传动模块的多层等间距可变的晶圆搬送机械手结构 [P].

胡启凡 ;

古市昌稔 ;

武一鸣 .

中国专利 :CN217292351U ,2022-08-26

[4]

一种用于半导体设备的多层可变间距晶圆搬送机械手 [P].

古市昌稔 ;

胡启凡 ;

武一鸣 .

中国专利 :CN214099609U ,2021-08-31

[5]

晶圆夹持机械手 [P].

刘洋 ;

古市昌稔 ;

曲泉铀 .

中国专利 :CN215942934U ,2022-03-04

[6]

搬送机械手 [P].

加藤烈 ;

小野茂树 .

中国专利 :CN103189168B ,2013-07-03

[7]

晶圆输送机械手 [P].

谢世敏 ;

王然 ;

李艳来 .

中国专利 :CN220534249U ,2024-02-27

[8]

晶圆机械手的极坐标控制方法、设备、存储介质及晶圆机械手 [P].

郑孝洋 ;

古国保 .

中国专利 :CN120862705A ,2025-10-31

[9]

晶圆机械手 [P].

李曾元 ;

朱桐桐 ;

周飞 ;

仰庶 ;

张晓燕 .

中国专利 :CN119890105A ,2025-04-25

[10]

晶圆夹持旋转机械手 [P].

刘洋 ;

古市昌稔 ;

曲泉铀 .

中国专利 :CN113103252A ,2021-07-13

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