制造半导体发光器件的方法以及化学气相沉积设备

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专利类型
发明
申请号
CN201410051132.7
申请日
2014-02-14
公开(公告)号
CN103996753A
公开(公告)日
2014-08-20
发明(设计)人
韩尚宪 金南星 金东俊 司空坦 申东益 李焘英 李庭旭
申请人
申请人地址
韩国京畿道
IPC主分类号
H01L3300
IPC分类号
H01L21205 C23C1634
代理机构
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人
陈源;张帆
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
半导体发光器件以及制造半导体发光器件的方法 [P]. 
仓桥孝尚 ;
中津弘志 ;
村上哲朗 ;
大山尚一 .
中国专利 :CN1319183C ,2004-05-19
[2]
制造半导体发光器件的方法 [P]. 
全水根 ;
朴恩铉 ;
金勈德 .
中国专利 :CN103975451B ,2014-08-06
[3]
化学气相沉积设备和使用该设备制造发光器件的方法 [P]. 
金俊佑 ;
竹谷元伸 ;
许寅会 ;
金秋浩 ;
李在凤 .
中国专利 :CN103329249A ,2013-09-25
[4]
半导体发光器件、半导体发光装置以及制造半导体发光器件的方法 [P]. 
村本卫司 ;
布上真也 ;
冈俊行 .
中国专利 :CN102326265B ,2012-01-18
[5]
用以制造半导体装置的化学气相沉积设备的喷头 [P]. 
李承善 ;
徐现模 .
中国专利 :CN1319126C ,2003-10-22
[6]
化学气相沉积方法及利用其制造发光器件的方法 [P]. 
金范埈 ;
金起成 ;
金荣善 ;
高德吉 ;
林珍永 ;
郑义俊 .
中国专利 :CN102888594A ,2013-01-23
[7]
半导体发光器件以及制造半导体发光器件的方法 [P]. 
后藤田徹 ;
名古肇 ;
冈俊行 ;
财满康太郎 ;
布上真也 .
中国专利 :CN102194986A ,2011-09-21
[8]
半导体发光器件、制造方法以及半导体发光器件封装件 [P]. 
崔繁在 ;
李镇贤 ;
朴基烈 ;
赵明洙 .
中国专利 :CN101820038A ,2010-09-01
[9]
半导体发光器件、制造方法以及半导体发光器件封装件 [P]. 
崔繁在 ;
李镇贤 ;
朴基烈 ;
赵明洙 .
中国专利 :CN102522473A ,2012-06-27
[10]
半导体发光器件以及半导体器件的制造方法 [P]. 
S·E·霍珀 ;
V·鲍斯奎特 ;
J·赫弗尔南 .
中国专利 :CN100477304C ,2006-11-01