硅晶片及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580029564.0

申请日：

2015-04-10

公开(公告)号：

CN106463403B

公开(公告)日：

2017-02-22

发明(设计)人：

工藤智司中村浩三村中寿行松田脩平金大基平木敬一郎

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21324

IPC分类号：

C30B2906 C30B3302 H01L2126

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

张桂霞;鲁炜

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-22	公开	公开
2017-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101708782600 IPC(主分类):H01L 21/324 专利申请号:2015800295640 申请日:20150410
2020-05-05	授权	授权

共 50 条

[1]

硅晶片及其制造方法 [P].

中居克彦 ;

大久保正道 .

中国专利 :CN102108549A ,2011-06-29

[2]

硅晶片及其制造方法 [P].

古贺祥泰 .

中国专利 :CN111508819A ,2020-08-07

[3]

硅晶片及其制造方法 [P].

杉村涉 ;

小野敏昭 ;

宝来正隆 .

中国专利 :CN100565820C ,2008-08-06

[4]

硅晶片及其制造方法 [P].

荒木浩司 ;

青木龙彦 ;

须藤治生 ;

仙田刚士 .

中国专利 :CN104347395A ,2015-02-11

[5]

硅晶片及其制造方法 [P].

古贺祥泰 .

日本专利 :CN111508819B ,2024-06-14

[6]

硅晶片及其制造方法 [P].

出合博之 ;

高山诚治 .

中国专利 :CN102376749A ,2012-03-14

[7]

硅晶片及其制造方法 [P].

中居克彦 .

中国专利 :CN102148155A ,2011-08-10

[8]

硅晶片及其制造方法 [P].

鸟越和尚 ;

小野敏昭 ;

川口隼矢 .

日本专利 :CN113517191B ,2024-06-18

[9]

硅晶片及其制造方法 [P].

福田真行 ;

中居克彦 .

中国专利 :CN101768777A ,2010-07-07

[10]

硅晶片及其制造方法 [P].

古贺祥泰 .

中国专利 :CN105659367A ,2016-06-08

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