硅晶片及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010073976.7

申请日：

2014-09-02

公开(公告)号：

CN111508819A

公开(公告)日：

2020-08-07

发明(设计)人：

古贺祥泰

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

C30B2518 C30B2520 C30B2906 C30B3306 H01L2118 H01L21223 H01L21265 H01L21322 H01L21324

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

杨戬

法律状态：

公开

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

硅晶片及其制造方法 [P].

古贺祥泰 .

日本专利 :CN111508819B ,2024-06-14

[2]

硅晶片及其制造方法 [P].

古贺祥泰 .

中国专利 :CN105659367A ,2016-06-08

[3]

硅晶片及其制造方法 [P].

藤濑淳 ;

前田学 .

日本专利 :CN116266531B ,2025-12-19

[4]

硅晶片及其制造方法 [P].

中居克彦 ;

大久保正道 .

中国专利 :CN102108549A ,2011-06-29

[5]

硅晶片及其制造方法 [P].

杉村涉 ;

小野敏昭 ;

宝来正隆 .

中国专利 :CN100565820C ,2008-08-06

[6]

硅晶片及其制造方法 [P].

荒木浩司 ;

青木龙彦 ;

须藤治生 ;

仙田刚士 .

中国专利 :CN104347395A ,2015-02-11

[7]

硅晶片及其制造方法 [P].

工藤智司 ;

中村浩三 ;

村中寿行 ;

松田脩平 ;

金大基 ;

平木敬一郎 .

中国专利 :CN106463403B ,2017-02-22

[8]

硅晶片及其制造方法 [P].

出合博之 ;

高山诚治 .

中国专利 :CN102376749A ,2012-03-14

[9]

硅晶片及其制造方法 [P].

中居克彦 .

中国专利 :CN102148155A ,2011-08-10

[10]

硅晶片及其制造方法 [P].

鸟越和尚 ;

小野敏昭 ;

川口隼矢 .

日本专利 :CN113517191B ,2024-06-18

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-07	公开	公开
2020-09-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20140902