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一种立式半导体晶圆干涉测试装置
被引：0
申请号：
CN202220328086.0
申请日：
2022-02-11
公开(公告)号：
CN217212242U
公开(公告)日：
2022-08-16
发明(设计)人：
程玉学
杨雪梅
申请人：
申请人地址：
065200 河北省廊坊市三河市燕郊开发区燕昌路西侧、欧森工业园院内A1厂房
IPC主分类号：
G01N2145
IPC分类号：
G01N2101
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-08-16 | 授权 | 授权 |