控制蚀刻深度的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03825366.6

申请日：

2003-09-18

公开(公告)号：

CN100449706C

公开(公告)日：

2005-11-23

发明(设计)人：

T·A·坎普 A·J·米勒 V·C·维努戈帕尔

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

杨生平;陈景峻

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-01-18	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-11-23	公开	公开
2009-01-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种控制早期深度处理和后期深度处理的装置和方法 [P].

廖明豪 ;

侯宗良 ;

姚金源 ;

吴鸿伟 .

中国专利 :CN106204519A ,2016-12-07

[2]

控制蚀刻选择性的方法和装置 [P].

J·S·兰斯福德 ;

L·福尔克 .

中国专利 :CN1258811C ,2004-04-21

[3]

真空装置、其压力控制方法和蚀刻方法 [P].

山本浩司 ;

广瀬宽司 .

中国专利 :CN103811300A ,2014-05-21

[4]

蚀刻装置及控制方法 [P].

张彬彬 ;

苏财钰 ;

张涛 ;

苟先华 ;

肖峰 .

中国专利 :CN117810073A ,2024-04-02

[5]

用于蚀刻均匀性控制的可变深度边缘环 [P].

艾夫林·安格洛夫 ;

克里斯蒂安·赛拉迪 ;

迪恩·拉森 ;

布莱恩·西弗森 .

中国专利 :CN107086168B ,2017-08-22

[6]

控制湿法蚀刻终点的装置及方法 [P].

韦显旺 .

中国专利 :CN108220962A ,2018-06-29

[7]

基于冗余结构控制车辆的装置和方法 [P].

金泫廷 .

中国专利 :CN110116752A ,2019-08-13

[8]

用于控制燃油喷射信号的装置和方法 [P].

B·G·麦吉 .

中国专利 :CN1995721A ,2007-07-11

[9]

用于镜头保护片的蚀刻装置和基于该装置的蚀刻方法 [P].

付雄鹰 .

中国专利 :CN110746119B ,2020-02-04

[10]

蚀刻装置及使用该蚀刻装置蚀刻基板的方法 [P].

郑建邦 .

中国专利 :CN102453915A ,2012-05-16

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