一种用于双台面激光直写曝光机的真空吸附控制系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020035807.X

申请日：

2020-01-08

公开(公告)号：

CN211318990U

公开(公告)日：

2020-08-21

发明(设计)人：

张浩为卫国魏云飞

申请人：

申请人地址：

230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115

代理人：

奚华保

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-21	授权	授权

共 50 条

[1]

一种双台面激光直写曝光机 [P].

陆敏婷 .

中国专利 :CN205003441U ,2016-01-27

[2]

一种用于双台面激光直写曝光机的延展吸盘 [P].

陈波 .

中国专利 :CN211698588U ,2020-10-16

[3]

一种双台面激光直写式曝光机 [P].

张雷 ;

李伟成 .

中国专利 :CN208969430U ,2019-06-11

[4]

一种双台面激光直写曝光机及其控制方法 [P].

陆敏婷 .

中国专利 :CN105182699A ,2015-12-23

[5]

一种双台面直写曝光机 [P].

蔡志国 ;

王友车 ;

胥涛朋 ;

朱亮 .

中国专利 :CN206292532U ,2017-06-30

[6]

一种双台面激光直写曝光机的对位方法 [P].

汪孝军 ;

梅文辉 ;

王建新 ;

李贵鸿 .

中国专利 :CN112731772B ,2021-04-30

[7]

一种双台面直写式曝光机的曝光系统 [P].

赵永翠 ;

陈海巍 .

中国专利 :CN205862101U ,2017-01-04

[8]

一种真空吸附台面及曝光机 [P].

张雷 .

中国专利 :CN212009275U ,2020-11-24

[9]

一种双台面直写式曝光机 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN209433179U ,2019-09-24

[10]

一种双台面直写式曝光机 [P].

章卫平 ;

刘栋 ;

蔡瑞 ;

朱道龙 ;

李伟成 ;

张雷 .

中国专利 :CN211741826U ,2020-10-23

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