一种光刻胶的去除方法

被引：0

申请号：

CN202210419158.7

申请日：

2022-04-21

公开(公告)号：

CN114879455A

公开(公告)日：

2022-08-09

发明(设计)人：

姜琪李兴辉韩攀阳杜婷蔡军冯进军

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路13号

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

H01J902

代理机构：

北京正理专利代理有限公司 11257

代理人：

张雪梅;赵晓丹

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/42 申请日:20220421
2022-08-09	公开	公开

共 50 条

[1]

一种光刻胶的去除方法 [P].

姜琪 ;

李兴辉 ;

韩攀阳 ;

杜婷 ;

蔡军 ;

冯进军 .

中国专利 :CN114879455B ,2025-11-28

[2]

一种去除光刻胶的方法 [P].

许杨 ;

朱兴旺 .

中国专利 :CN111913372A ,2020-11-10

[3]

一种去除光刻胶的方法 [P].

唐家乐 ;

张玉乾 ;

严磊 ;

陆嘉鑫 .

中国专利 :CN113805442A ,2021-12-17

[4]

光刻胶去除方法 [P].

高慧慧 ;

秦伟 ;

李程 ;

杨渝书 .

中国专利 :CN104391434A ,2015-03-04

[5]

光刻胶的去除方法 [P].

杨峰 ;

谭宗良 .

中国专利 :CN102082089A ,2011-06-01

[6]

光刻胶去除方法 [P].

萧忠仁 ;

陈雅萍 ;

林建宏 ;

刘文斌 ;

陈志文 .

中国专利 :CN110716399A ,2020-01-21

[7]

光刻胶的去除方法 [P].

肖玉洁 ;

朱旋 ;

谢宝强 ;

杨兆宇 .

中国专利 :CN102073227A ,2011-05-25

[8]

光刻胶去除方法及光刻胶重制方法 [P].

邱靖尧 ;

谢玟茜 ;

刘立尧 ;

胡展源 .

中国专利 :CN110581065A ,2019-12-17

[9]

光刻胶去除装置和去除光刻胶的方法 [P].

张凇铭 ;

惠世鹏 ;

刘效岩 .

中国专利 :CN111610698A ,2020-09-01

[10]

光刻胶去除方法以及光刻胶去除系统 [P].

赵仲平 ;

张文龙 ;

戴茂春 ;

淮赛男 ;

周宇 .

中国专利 :CN113721430B ,2021-11-30

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