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一种MEMS金属氧化物半导体气体传感器及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201510626311.3
申请日：
2015-09-24
公开(公告)号：
CN105158297A
公开(公告)日：
2015-12-16
发明(设计)人：
雷鸣
申请人：
申请人地址：
430079 湖北省武汉市东湖新技术开发区武大科技园兴业楼南一单元401
IPC主分类号：
G01N2700
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-06-08 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101733701663 IPC(主分类):G01N 27/00 专利申请号:2015106263113 登记生效日:20160519 变更事项:申请人 变更前权利人:雷鸣 变更后权利人:武汉微纳传感技术有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:430079 湖北省武汉市东湖新技术开发区武大科技园兴业楼南一单元401 变更后权利人:430079 湖北省武汉市东湖新技术开发区武大园路5-1号国家地球空间信息产业基地南主楼1单元4层01号 |
| 2016-01-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101642483321 IPC(主分类):G01N 27/00 专利申请号:2015106263113 申请日:20150924 |
| 2015-12-16 | 公开 | 公开 |
| 2016-10-12 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101740189816 IPC(主分类):G01N 27/00 专利申请号:2015106263113 申请公布日:20151216 |