半导体晶圆微型孔电镀装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201220092045.2
申请日
2012-03-13
公开(公告)号
CN202519353U
公开(公告)日
2012-11-07
发明(设计)人
吴燕
申请人
申请人地址
215011 江苏省苏州市苏州新区滨河路1088号金河雅苑1-608
IPC主分类号
C25D712
IPC分类号
C25D704 C25D508 C25D502
代理机构
上海开祺知识产权代理有限公司 31114
代理人
竺明
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半导体晶圆微型孔电镀装置 [P]. 
林志雄 .
中国专利 :CN222411948U ,2025-01-28
[2]
微型孔电镀装置 [P]. 
吴燕 .
中国专利 :CN202090076U ,2011-12-28
[3]
一种半导体晶圆电镀夹持装置 [P]. 
肖黎明 ;
李林森 ;
鲁杰 .
中国专利 :CN205529113U ,2016-08-31
[4]
半导体晶圆电镀夹具 [P]. 
陈苏伟 ;
吴光庆 ;
张伟锋 .
中国专利 :CN109457284A ,2019-03-12
[5]
半导体晶圆电镀设备 [P]. 
刘广凯 ;
刘瑞 .
中国专利 :CN309604177S ,2025-11-14
[6]
电化学电镀半导体晶圆的方法及其电镀装置 [P]. 
张中良 ;
眭晓林 .
中国专利 :CN100449710C ,2006-08-02
[7]
半导体电镀设备及用于半导体晶圆电镀的阳极导电装置 [P]. 
陶明生 ;
车立洋 .
中国专利 :CN119956453A ,2025-05-09
[8]
一种半导体晶圆的电镀槽 [P]. 
吴攀 .
中国专利 :CN222648147U ,2025-03-21
[9]
半导体晶圆电镀清洗设备 [P]. 
刘金升 ;
夏前刚 .
中国专利 :CN307563543S ,2022-09-23
[10]
一种半导体晶圆电镀夹持装置 [P]. 
刘金衡 ;
韦磊 .
中国专利 :CN207498498U ,2018-06-15