用于薄晶片的可移动静电载具

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080064953.4

申请日：

2010-12-30

公开(公告)号：

CN102782827A

公开(公告)日：

2012-11-14

发明(设计)人：

M·M·穆斯利赫 D·X·王

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

冯剑明

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-08-06	授权	授权
2012-11-14	公开	公开
2019-12-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20101230 授权公告日:20140806 终止日期:20181230
2013-02-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101393320996 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2010800649534 申请日:20101230

共 50 条

[1]

用于薄晶片处理的可移动真空载具 [P].

D·X·王 ;

M·M·穆斯利赫 .

中国专利 :CN102754199A ,2012-10-24

[2]

用于划切晶片的方法与载具 [P].

J·M·霍尔登 ;

B·伊顿 ;

A·伊耶 ;

A·库玛 .

中国专利 :CN105814666A ,2016-07-27

[3]

使用静电力的基板组件载具 [P].

萧义理 ;

余振华 ;

刘重希 ;

黄见翎 ;

黄英叡 .

中国专利 :CN102683255B ,2012-09-19

[4]

搬运晶片载具的设备及方法 [P].

郭宗圣 ;

李建法 ;

刘旭水 ;

白峻荣 ;

郭守文 ;

杨依伦 ;

黄志宏 ;

朱延安 .

中国专利 :CN109427636B ,2019-03-05

[5]

用于碳化硅外延生长的载具、晶片传输系统及晶片传输方法 [P].

姚力军 ;

费磊 ;

边逸军 ;

郭付成 ;

左万胜 ;

周凯 ;

王云 .

中国专利 :CN118996616A ,2024-11-22

[6]

用于处理腔室载具的静电吸附力测量工具 [P].

斯里尼瓦斯·D·内曼尼 ;

高塔姆·皮莎罗蒂 ;

塞沙德里·拉马斯瓦米 ;

尚布休·N·罗伊 ;

尼兰詹·库马尔 .

中国专利 :CN110036466A ,2019-07-19

[7]

划切由载具支撑的晶片或基板的方法 [P].

J·M·霍尔登 ;

B·伊顿 ;

A·伊耶 ;

A·库玛 .

中国专利 :CN113421846A ,2021-09-21

[8]

用于半导体晶片封装的载物台 [P].

赵庆国 ;

王明珠 ;

左仲 ;

李剑 .

中国专利 :CN200965867Y ,2007-10-24

[9]

用于半导体晶片抛光系统的载具的多流体供应设备 [P].

徐盛范 .

中国专利 :CN101208780A ,2008-06-25

[10]

用于半导体晶片处理的高效静电吸盘 [P].

阿施施·布特那格尔 .

中国专利 :CN101946315B ,2011-01-12

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