化学气相沉积方法和装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310731247.6

申请日：

2013-12-26

公开(公告)号：

CN104746045A

公开(公告)日：

2015-07-01

发明(设计)人：

李兴存

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C16509 C23C1652

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-06	授权	授权
2015-07-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101618659265 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2013107312476 申请日:20131226
2017-10-10	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101760566882 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2013107312476 变更事项:申请人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更后:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
2015-07-01	公开	公开

共 50 条

[1]

化学气相沉积装置、化学气相沉积方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103060772B ,2013-04-24

[2]

化学气相沉积装置和化学气相沉积方法 [P].

酒井士郎 ;

高松勇吉 ;

森勇次 ;

直井弘之 ;

H·X·王 ;

石滨义康 ;

纲岛丰 .

中国专利 :CN1259450C ,2002-04-17

[3]

化学气相沉积设备 [P].

周向阳 .

中国专利 :CN222923231U ,2025-05-30

[4]

化学气相沉积系统、化学气相沉积系统的装置和化学气相沉积方法 [P].

N·P·德斯科维奇 ;

W·D·格罗夫 .

中国专利 :CN105369211A ,2016-03-02

[5]

化学气相沉积设备、泵浦衬套及化学气相沉积方法 [P].

杨胜钧 ;

林艺民 ;

李志聪 ;

邱云姿 ;

万昭宏 .

中国专利 :CN112501587A ,2021-03-16

[6]

化学气相沉积装置及化学气相沉积方法 [P].

刘忠范 ;

亓月 ;

杨钰垚 ;

袁昊 .

中国专利 :CN118814133A ,2024-10-22

[7]

化学气相沉积装置及化学气相沉积方法 [P].

刘恒 .

中国专利 :CN102851651A ,2013-01-02

[8]

化学气相沉积设备 [P].

金宰湖 ;

朴相俊 .

中国专利 :CN1302152C ,2002-10-23

[9]

化学气相沉积设备 [P].

陈五奎 ;

任陈平 ;

李文江 .

中国专利 :CN301589889S ,2011-06-22

[10]

化学气相沉积设备 [P].

赵仰政 .

中国专利 :CN306403676S ,2021-03-23

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