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原子层沉积设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201611043342.7
申请日：
2016-11-11
公开(公告)号：
CN106978599A
公开(公告)日：
2017-07-25
发明(设计)人：
周友华
庄国胜
申请人：
申请人地址：
中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
C23C1652
代理机构：
南京正联知识产权代理有限公司 32243
代理人：
顾伯兴
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-07-25 | 公开 | 公开 |
| 2019-08-02 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 16/455 申请公布日:20170725 |