等离子体处理设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911370597.8

申请日：

2019-12-26

公开(公告)号：

CN113053713A

公开(公告)日：

2021-06-29

发明(设计)人：

魏强黄允文郭盛

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李带娣

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-29	公开	公开
2021-07-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20191226

共 50 条

[1]

等离子体处理设备 [P].

数见秀之 ;

手束勉 ;

西尾良司 ;

荒井雅嗣 ;

吉冈健 ;

坪根恒彦 ;

土居昭 ;

枝村学 ;

前田贤治 ;

金井三郎 .

中国专利 :CN1185030A ,1998-06-17

[2]

等离子体处理设备 [P].

马哲国 ;

陈金元 ;

欧阳亮 ;

董家伟 .

中国专利 :CN216145583U ,2022-03-29

[3]

等离子体处理设备 [P].

田村一成 .

中国专利 :CN101500370A ,2009-08-05

[4]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

菅井秀郎 ;

井出哲也 ;

佐佐木厚 ;

东和文 ;

中田行彦 .

中国专利 :CN1670912A ,2005-09-21

[5]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

李勇锡 ;

郑石源 ;

许明洙 ;

安美罗 .

中国专利 :CN104576282A ,2015-04-29

[6]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

宇井明生 ;

林久贵 ;

富冈和广 ;

山本洋 ;

今村翼 .

中国专利 :CN103681196A ,2014-03-26

[7]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

山崎圭一 ;

猪冈结希子 ;

泽田康志 ;

田口典幸 ;

中园佳幸 ;

仲野章生 .

中国专利 :CN1165208C ,2002-02-06

[8]

等离子体处理设备以及等离子体处理方法 [P].

黄振华 .

中国专利 :CN113035677B ,2021-06-25

[9]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

岩井哲博 ;

有田洁 .

中国专利 :CN1669109A ,2005-09-14

[10]

等离子体处理方法和等离子体处理设备 [P].

奥村智洋 ;

佐佐木雄一朗 ;

冈下胜己 ;

金成国 ;

前嶋聪 ;

伊藤裕之 ;

中山一郎 ;

水野文二 .

中国专利 :CN101053066A ,2007-10-10

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