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使用带电粒子显微镜检查样品的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910766415.2
申请日：
2019-08-19
公开(公告)号：
CN110849926A
公开(公告)日：
2020-02-28
发明(设计)人：
T.图玛
J.赫拉迪尔
P.赫拉文卡
申请人：
申请人地址：
美国俄勒冈州
IPC主分类号：
G01N232206
IPC分类号：
G01N23046
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：
张凌苗;闫小龙
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 23/2206 申请日:20190819 |
| 2020-02-28 | 公开 | 公开 |