使用带电粒子显微镜检查样品的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910766415.2

申请日：

2019-08-19

公开(公告)号：

CN110849926A

公开(公告)日：

2020-02-28

发明(设计)人：

T.图玛 J.赫拉迪尔 P.赫拉文卡

申请人：

申请人地址：

美国俄勒冈州

IPC主分类号：

G01N232206

IPC分类号：

G01N23046

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

张凌苗;闫小龙

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 23/2206 申请日:20190819
2020-02-28	公开	公开

共 50 条

[41]

带电粒子束显微镜和使用带电粒子束进行扫描的方法 [P].

C.S.库伊曼 ;

J.S.法伯 .

中国专利 :CN106098518B ,2016-11-09

[42]

用于样品的显微镜检查的显微镜 [P].

斯特凡·克莱斯特 .

中国专利 :CN113884694A ,2022-01-04

[43]

相关光学和带电粒子显微镜 [P].

B.布伊斯塞 .

中国专利 :CN104810230B ,2015-07-29

[44]

用于校准扫描带电粒子显微镜的方法 [P].

H·A·迪伦 ;

W·T·特尔 ;

W·L·范迈罗 .

:CN113228222B ,2024-12-31

[45]

用于校准扫描带电粒子显微镜的方法 [P].

H·A·迪伦 ;

W·T·特尔 ;

W·L·范迈罗 .

中国专利 :CN113228222A ,2021-08-06

[46]

用于带电粒子显微镜的方法及系统 [P].

D·马斯纳盖蒂 ;

G·托特 ;

D·特雷斯 ;

R·博特罗 ;

G·H·陈 ;

R·克尼彭迈耶 .

中国专利 :CN111261481B ,2020-06-09

[47]

使用带电粒子束设备检查样品的方法 [P].

O·卡普连科 ;

O·马切克 ;

T·维斯塔维尔 ;

J·克卢萨切克 ;

K·布克维绍娃 ;

M·卡普连科 .

中国专利 :CN114199918A ,2022-03-18

[48]

显微镜的带电粒子检测器 [P].

I·范韦佩伦 .

:CN120019466A ,2025-05-16

[49]

用于带电粒子显微镜的低温样本的制备 [P].

H-W.雷米格伊 .

中国专利 :CN106872500B ,2017-06-20

[50]

带电粒子显微镜中的枪透镜设计 [P].

A.莫哈姆马迪-格海达里 ;

A.亨斯特拉 ;

P.C.蒂伊梅杰 ;

K.刘 ;

P.多纳 ;

G.A.施温德 ;

G.J.范德瓦特 ;

M.比斯乔夫 .

中国专利 :CN108807120A ,2018-11-13

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