使用带电粒子显微镜检查样品的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910766415.2

申请日：

2019-08-19

公开(公告)号：

CN110849926A

公开(公告)日：

2020-02-28

发明(设计)人：

T.图玛 J.赫拉迪尔 P.赫拉文卡

申请人：

申请人地址：

美国俄勒冈州

IPC主分类号：

G01N232206

IPC分类号：

G01N23046

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

张凌苗;闫小龙

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 23/2206 申请日:20190819
2020-02-28	公开	公开

共 50 条

[21]

在带电粒子显微镜中检查样本的方法 [P].

I.拉兹 ;

E.G.T.博思 ;

F.博格霍贝 ;

B.布伊斯塞 ;

K.S.塞德 ;

S.拉扎 .

中国专利 :CN104865276B ,2015-08-26

[22]

显微镜系统和操作带电粒子显微镜的方法 [P].

S·比恩 ;

R·罗兰 ;

S·希斯 .

中国专利 :CN102543638B ,2012-07-04

[23]

校准扫描透射带电粒子显微镜的方法 [P].

M.T.奥特坦 ;

A.A.M.科克 ;

M.维海詹 .

中国专利 :CN105261544A ,2016-01-20

[24]

用于带电粒子显微镜的无磁场样品平面 [P].

A·亨斯特拉 ;

A·穆罕默迪-盖达里 ;

P·C·蒂梅耶 .

中国专利 :CN114664619A ,2022-06-24

[25]

扫描带电粒子显微镜图像的高画质化方法和扫描带电粒子显微镜装置 [P].

中平健治 ;

田中麻纪 .

中国专利 :CN105981129A ,2016-09-28

[26]

具有特殊孔隙板的带电粒子显微镜 [P].

P.波托塞克 ;

F.M.H.M.范拉亚霍文 ;

F.博霍贝 ;

R.肖恩马克斯 ;

P.C.蒂伊梅杰 .

中国专利 :CN105529235A ,2016-04-27

[27]

用于带电粒子显微镜的保护快门 [P].

P·布伦达奇 .

中国专利 :CN115579271A ,2023-01-06

[28]

带电粒子显微镜以及试样拍摄方法 [P].

庄子美南 ;

津野夏规 ;

大南祐介 .

中国专利 :CN109075002A ,2018-12-21

[29]

透射带电粒子显微镜的成像技术 [P].

B.J.詹森 ;

L.余 ;

E.M.弗兰肯 .

中国专利 :CN110082370A ,2019-08-02

[30]

带电粒子显微镜的像差测量 [P].

A·亨斯特拉 ;

P·C·蒂默杰 .

中国专利 :CN108538693A ,2018-09-14

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