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金属硅化层的湿法刻蚀方法及湿法刻蚀装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111173686.0
申请日：
2021-09-29
公开(公告)号：
CN113921393A
公开(公告)日：
2022-01-11
发明(设计)人：
厉鸣夏
徐兴国
张凌越
姜波
张言成
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
IPC主分类号：
H01L213213
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
周耀君
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-11 | 公开 | 公开 |
| 2022-01-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3213 申请日:20210929 |