半导体检测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02124853.2

申请日：

2002-06-21

公开(公告)号：

CN1393921A

公开(公告)日：

2003-01-29

发明(设计)人：

岸本清治

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

G01R3126 G01R3128

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

王永刚

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-01-29	公开	公开
2006-09-13	授权	授权
2009-08-19	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2003-11-12	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

半导体检测装置 [P].

余宏 .

中国专利 :CN206892268U ,2018-01-16

[2]

半导体检测装置 [P].

肖良红 .

中国专利 :CN111346831A ,2020-06-30

[3]

半导体检测装置 [P].

李海鹏 ;

张宇啸 ;

任文墨 .

中国专利 :CN211455649U ,2020-09-08

[4]

半导体检测装置 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN121186081A ,2025-12-23

[5]

半导体检测装置 [P].

朱俊龙 ;

郑景鸿 ;

吴志文 ;

温国政 ;

陈守傑 ;

郑宇翔 .

中国专利 :CN211856324U ,2020-11-03

[6]

半导体检测装置 [P].

仲井一晃 .

中国专利 :CN101371152A ,2009-02-18

[7]

半导体检测装置 [P].

青木秀宪 ;

土佐信夫 ;

市川美穗 ;

广田浩义 .

中国专利 :CN102713651A ,2012-10-03

[8]

半导体检测装置及半导体工艺装置 [P].

李海鹏 .

中国专利 :CN210006695U ,2020-01-31

[9]

一种半导体检测装置 [P].

刘理金 .

中国专利 :CN216595383U ,2022-05-24

[10]

半导体检测装置、检测方法及半导体工艺装置 [P].

李海鹏 .

中国专利 :CN111415875A ,2020-07-14

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