夹具及等离子体沉积设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721829598.0

申请日：

2017-12-25

公开(公告)号：

CN207727149U

公开(公告)日：

2018-08-14

发明(设计)人：

张志强张二辉丁伟

申请人：

申请人地址：

200241 上海市闵行区东川路555号戊楼4026室

IPC主分类号：

C23C16513

IPC分类号：

C23C16458

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

杨楷;毛立群

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-14	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体沉积用夹具 [P].

董海青 ;

申鹏 .

中国专利 :CN211522316U ,2020-09-18

[2]

等离子体装置和等离子体沉积设备 [P].

李翔 ;

种展鹏 ;

袁红霞 ;

王娟 ;

姚俊 .

中国专利 :CN119943637B ,2025-11-04

[3]

等离子体装置和等离子体沉积设备 [P].

李翔 ;

种展鹏 ;

袁红霞 ;

王娟 ;

姚俊 .

中国专利 :CN119943637A ,2025-05-06

[4]

等离子体沉积方法和等离子体沉积设备 [P].

山本薰 ;

金昌炫 ;

宋伣在 ;

申建旭 ;

申铉振 ;

安星柱 ;

李章熙 ;

李昌锡 ;

全基荣 ;

郑根吾 .

中国专利 :CN110880447A ,2020-03-13

[5]

等离子体沉积方法和等离子体沉积设备 [P].

山本薰 ;

金昌炫 ;

宋伣在 ;

申建旭 ;

申铉振 ;

安星柱 ;

李章熙 ;

李昌锡 ;

全基荣 ;

郑根吾 .

韩国专利 :CN110880447B ,2024-04-09

[6]

平板电极结构和等离子体沉积设备 [P].

孙溯 ;

张志强 ;

谢小兵 .

中国专利 :CN207418862U ,2018-05-29

[7]

等离子体沉积设备 [P].

斯蒂芬·理查德·库尔森 ;

查尔斯·埃德蒙·金 .

中国专利 :CN101743071A ,2010-06-16

[8]

等离子体气相沉积镀膜设备 [P].

黄章华 .

中国专利 :CN216192696U ,2022-04-05

[9]

压力控制系统和等离子体沉积设备 [P].

唐玄玄 ;

张志强 ;

张二辉 .

中国专利 :CN207793425U ,2018-08-31

[10]

等离子体沉积装置 [P].

孟杰 ;

胡广严 ;

吴孝哲 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208949405U ,2019-06-07

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