多晶硅薄膜及其组件的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710018887.7

申请日：

2007-10-09

公开(公告)号：

CN101140866A

公开(公告)日：

2008-03-12

发明(设计)人：

范多旺王成龙范多进令晓明孔令刚

申请人：

申请人地址：

730070甘肃省兰州市安宁西路88号

IPC主分类号：

H01L21203

IPC分类号：

H01L3118 C30B3004

代理机构：

兰州振华专利代理有限责任公司

代理人：

张真

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-05-07	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-03-12	公开	公开
2010-07-14	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101003164966 IPC(主分类):H01L 21/203 专利号:ZL2007100188877 变更事项:专利权人变更前权利人:兰州大成自动化工程有限公司变更后权利人:兰州大成科技股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:730070 甘肃省兰州市安宁西路88号变更后权利人:730000 甘肃省兰州高新技术产业开发区(张苏滩575号) 变更事项:共同专利权人变更前权利人:兰州交通大学变更后权利人:无登记生效日:20100604
2021-09-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/203 申请日:20071009 授权公告日:20090722 终止日期:20201009
2009-07-22	授权	授权

共 50 条

[1]

多晶硅薄膜组件的制备方法 [P].

范多旺 ;

王成龙 ;

范多进 ;

令晓明 ;

孔令刚 .

中国专利 :CN101404304B ,2009-04-08

[2]

多晶硅薄膜 [P].

李媛 ;

吴兴坤 ;

郝芳 ;

杨晗琼 .

中国专利 :CN202058744U ,2011-11-30

[3]

单/多晶硅薄膜及其组件的制备装置 [P].

范多旺 ;

范多进 ;

令晓明 ;

姚小明 ;

孔令刚 ;

王成龙 .

中国专利 :CN201128779Y ,2008-10-08

[4]

多晶硅薄膜的制备方法 [P].

江润峰 ;

孙天拓 .

中国专利 :CN104217940A ,2014-12-17

[5]

多晶硅薄膜及用非晶硅低温诱导制备多晶硅薄膜的方法 [P].

李媛 ;

吴兴坤 ;

郝芳 ;

周丽萍 ;

杨晗琼 .

中国专利 :CN102201461A ,2011-09-28

[6]

择优取向的多晶硅薄膜的制备方法 [P].

姚若河 .

中国专利 :CN1967882A ,2007-05-23

[7]

一种多晶硅薄膜组件的制备方法 [P].

夏雨 .

中国专利 :CN102881563A ,2013-01-16

[8]

多晶硅薄膜的制备方法 [P].

张进 .

中国专利 :CN108987247A ,2018-12-11

[9]

多晶硅薄膜的制备方法 [P].

范建国 ;

季峰强 ;

董智刚 ;

黄柏喻 .

中国专利 :CN101290877A ,2008-10-22

[10]

多晶硅薄膜的制备方法 [P].

何永根 ;

陈旺 .

中国专利 :CN101307488B ,2008-11-19

← 1 2 3 4 5 →