一种晶圆边缘清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201320759536.2

申请日：

2013-11-26

公开(公告)号：

CN203562410U

公开(公告)日：

2014-04-23

发明(设计)人：

唐强刘永

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区大兴区经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B100

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20131126 授权公告日:20140423 终止日期:20191126
2014-04-23	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆边缘清洗装置 [P].

唐强 ;

刘永 .

中国专利 :CN203707094U ,2014-07-09

[2]

晶圆边缘清洗装置 [P].

云巴图 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN209496837U ,2019-10-15

[3]

一种晶圆边缘清洗装置及晶圆清洗设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222720360U ,2025-04-04

[4]

一种兼容型晶圆边缘清洗装置 [P].

刘同同 ;

吴星华 .

中国专利 :CN220672530U ,2024-03-26

[5]

晶圆边缘清洗设备 [P].

张玉静 .

中国专利 :CN211208395U ,2020-08-07

[6]

一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203620984U ,2014-06-04

[7]

一种晶圆边缘清洗装置及清洗方法 [P].

佟金刚 ;

李阳柏 ;

张传民 ;

倪立华 .

中国专利 :CN106449482B ,2017-02-22

[8]

晶圆边缘清洗设备及晶圆边缘清洗方法 [P].

张玉静 .

中国专利 :CN112768371A ,2021-05-07

[9]

一种晶圆清洗装置 [P].

郭顺华 ;

肖恩才 ;

孟昭生 .

中国专利 :CN216800725U ,2022-06-24

[10]

晶圆边缘的清洗方法以及清洗装置 [P].

梅晓波 ;

刘浩东 .

中国专利 :CN112885712A ,2021-06-01

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