铁电晶体膜、电子元件、铁电晶体膜的制造方法和铁电晶体膜的制造装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210479358.8
申请日
2012-11-22
公开(公告)号
CN103456723A
公开(公告)日
2013-12-18
发明(设计)人
木岛健 本多祐二 饭塚大助 秦健次郎
申请人
申请人地址
日本国千叶县
IPC主分类号
H01L2364
IPC分类号
H01L2102 C04B3549
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
蒋亭
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
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